四轨道在线式真空等离子清洗机产品介绍：

四轨道在线式等离子清洗机主要针对集成电路IC封装，LED支架清洗工艺，自动将料盒里的引线框架取出并进行等离子清洗，去除材料表面污染，提高表面活性，再自动放回料盒，全程无人为干扰。

工作流程：

1）将装满引线框架的4个料盒放置在置取料平台上，推料机构将第一层料片推出至上下料传输系统。

2）上下料传输系统通过压轮及皮带传输将料片传输到物料交换平台的高台上，通过拨料系统进行定位。

3）接好料片的平台交换至等离子反应腔室下方，通过提升系统将真空腔室闭合抽进行等离子清洗。当高台传输到清洗位时，低台传输到接料位置进行第二层的接料。高台清洗结束后与低台交换位置，低台进行等离子清洗，高台到接料位置进行回料。

4）物料交换平台上的料片由拨料系统拨到上下料传输系统上,通过压轮和皮带传回料盒，完成一个流程。推料机构推下一层料片，进行下一个流程。

上下料系统：料盒放置在上料台上，自动运动至料盒夹中， 通过料盒夹取机构将料盒夹至工作位，料片推杆机构将料片推 至过渡桥上后，通过料片夹将料片夹至反应仓、移动仓底，下料 时再通过相反过程，将料片送回至料盒，即料盒对料盒的模式， 避免人工接触。 推料及夹取料片均采用光纤传感器进行检测，避 免空流程及卡料。

四轨道在线式真空等离子清洗机产品特点：

针对LED，IC封装工序设计，可先择同时清洗4种不同宽度的产品；

轨道条数可以增加减少，或者根据材料宽度大小可灵活设计；

片式清洗，清洗效果更明显，更彻底；单边上下料结构，无需更换料盒，清洗后的产品自动回到原来的料盒， 杜绝混批；

高度自动化作业，配备自动上片，传输，清洗，收片等功能，减少人员干预，降低二次污染风险。双清洗托盘，一个清洗的同时另一个备料，提高生产效率；

 一键更换产品，设备所有参数及设置自动加载，无需人工设定；

手动清洗与自动清洗均一键操作，操作使用更简单；

产品安全多重设计，确保人身安全，确保不会造成产品变形损坏；

模块化设计，国际品牌配置，确保设备稳定运行。

模块化设计，组件更换灵活，切换产品快速，运行过程实时监控，动画指示工作过程，一目了然，设备操作权限分级管理，便于管控。

采用13.56MHZ电源，清洗时间短，无溅射，温度低。

4条通道每个地方独立检测，准确判断问题所在，生产过程可管控，故障报警可追索，有提示，快速排查故障部位，便于维护。

随着在线式等离子清洗机及工艺在IC封装领域内的应用越来越广泛，并以其优良的工艺性能促进了微电子行业技术的快速发展，成为21世纪IC封装领域内关键生产装置，成为提高产品可靠性和成品率的重要手段，是生产中不可缺少的步骤。伴随着现代高科技的需要，在线式等离子清洗技术将不断发展技术水平和应用范围，推广到LED封装及LCD行业趋势势在必行，展望未来，在线式等离子清洗技术的发展前景是无限美好的。