产品参数：
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电源系统 |
功率 |
F13.56MHz 0-600W （射频电源） |
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真空系统 |
真空管路 |
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
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材质 |
铝合金 |
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密封性 |
一体成型 |
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腔体体积 |
6L |
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适用产品尺寸 |
180-280mmX25-90mm(长x宽) |
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适用料盒尺寸 |
180-290mmX25*93X250mm(长X宽X高) |
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通道数量 |
标准4条（可定制） |
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电极板大小 |
340x500mm |
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等离子激发时间 |
等离子激发清洗时间 |
5Sec |
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产量 |
UPH |
480（蛇皮时间10S，4条流道时） |
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清洗能力 |
水滴角 |
水滴角测试＜12° |
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流量范围 |
0-300SCCM |
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工艺气体 |
标配2路，可定制 氩气： 3bars 1L/min 氮气 : 3bars 1L/min |
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其它参数 |
电源 |
AC 380V 5.5KW |
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外形尺寸 |
1600mmX1200x1600 |
产品特点：
1、轨道宽度可调，可选择同时清洗四种不同宽度的产品；
2 、片式清洗，清洗效果更明显；
3 、单边上下料结构，无需更换料盒，清洗后的产品自动回到原来的料盒，杜绝混批；
4、 双清洗托盘，一个清洗的同时另一个备料，提高生产效率；
5 、一键更换产品，设备所有参数及设置自动加载，无需人工设定；
6、手动清洗与自动清洗均一键操作，操作使用更简单；
7、 产品安全多重设计，确保不会造成产品变形损坏；
8 、四条通道每个地方独立检测，准确判断问题所在；
9 、设备安全多重设计，确保人身安全；
10、 模块化设计，国际品牌配置，确保设备稳定运行。
