产品参数：
| 型号 |
TS-PL15MA |
| 腔体材质 | 316不锈钢 |
| 腔体尺寸 |
L270mm*W280mm*H200mm |
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电极 |
平板气浴电极，材质6061-T6铝合金 |
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功率电极 |
1 |
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接地电极 |
1 |
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电极尺寸 |
230mm *230mm（最大可处理产品尺寸，可处理8寸晶圆） |
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频率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W连续可调，可在设备运行中随时调整参数。 |
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气体控制 |
MFC质量流量计， 0-500ml 2路气体 |
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真空度测量仪器 |
2色显示式高精度数字式压力开关（SMC） |
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控制方式 |
7寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式 |
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控制软件功能 |
界面显示实时工作状态 |
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设备规格尺寸 |
长600mm 宽600mm 高700mm |
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电极板配置 |
配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置 |
随着技术水平的不断更新迭代，以及各生产厂家对产品洁净度要求的不断提高，清洗工艺逐步由湿法向干法转变。干法清洗通过气体形成的等离子体在工件表面发生作用，不需要经化学试剂浸泡，也不用烘干，过程更加洁净安全，清洗过程也方便控制，工作环境及人员安全明显改善，在成本有效减少的同时，产品成品率及优品率也得到很大提高，目前已成为各半导体产品领域广泛应用的技术。
