产品参数：
| 型号 |
TS-PL10 |
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真空腔尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
| 材质 | 316不锈钢 |
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电极 |
平板气浴电极，材质6061-T6铝合金 |
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电极尺寸 |
180mm *230mm(最大可处理产品尺寸) |
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频率 |
40KHz |
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功率 |
0-1000W连续可调，可在设备运行中随时调整参数。 |
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气体控制 |
精密针阀式浮子流量计， 0-1000ml 2路气体 |
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真空度测量仪器 |
2色显示式高精度数字式压力开关(SMC) |
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控制方式 |
7寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式 |
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控制软件功能 |
界面显示实时工作状态 |
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设备规格尺寸 |
长550mm*宽550mm*高600mm |
产品特点：
1、该仪器实现了手动、自动两种模式任意切换的工作方式。
2、该仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验。
3、只需气体作为耗材，使用成本低。
4、无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可。
主要应用领域：
1、半导体元件、印刷线路板的清洗。
2、高分子材料表面修饰。
3、生物芯片、微流控芯片的清洗。
4、芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗。
5、各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。
